Завод «Микрон» выиграл тендер на создание установки «Лучник»

Зеленоградский завод «Микрон», который входит в группу «Элемент», стал победителем тендера Минпромторга на разработку уникальной автоматизированной установки «Лучник». Общая стоимость контракта составляет 1,56 миллиарда рублей. Это оборудование играет решающую роль в производстве микросхем, обеспечивая высокую точность наложения слоев при печати чипов на кремниевых пластинах. Цель проекта — создать российский аналог американской установки ARCHER 10 XT от KLA Tencor. Установка «Лучник» сможет обрабатывать пластины диаметром 150 и 200 мм, контролируя точность наложения слоев до 130 нм и обеспечивая производительность не менее 75 пластин в час, используя интерферометры и алгоритмы машинного зрения. Разработка включает сложные аспекты прецизионной механики и оптики, а завершить ее необходимо до июля 2029 года. Завод «Микрон» имеет дополнительный стимул, так как выступает и разработчиком, и потребителем. Наличие производственной линии 200-миллиметровых пластин позволит быстро тестировать прототипы в реальных условиях, что увеличивает шансы на успех проекта «Лучник».