Литографические сканеры не являются единственным необходимым оборудованием для производства полупроводниковых компонентов. Несмотря на сложности с передовыми EUV-технологиями, китайские инженеры всё чаще используют местные разработки для более доступных операций. В 2022 году доля отечественного оборудования достигла 35%, превысив запланированные 30% к 2025 году, согласно TrendForce и китайским СМИ.
В частности, доля китайских изделий в сегменте оборудования для травления кремниевых пластин и нанесения покрытий уже превышает 40%. Примечательно, что оборудование для травления 5-нм чипов проходит валидацию на производственной линии TSMC.
Технологические печи Naura составляют более 60% оборудования, используемого SMIC для 28-нм чипов. Однако в области контрольно-измерительных машин и литографических сканеров уровень импортозамещения остается низким — 25% и 18% соответственно.
Спрос на китайское оборудование за год увеличился на 80%, и власти страны требуют, чтобы новые линии по производству чипов использовали местное оборудование на 50%. В 2022 году была оформлена 421 заявка на сумму $122 млн на закупку отечественного оборудования, что также подтверждает поддержку со стороны властей.
